溫州流量計(jì)是一種準(zhǔn)確測(cè)量氣體流量的儀表，其測(cè)量值不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)，不需要溫度壓力補(bǔ)償。熱式流量開(kāi)關(guān)熱導(dǎo)式流量開(kāi)關(guān)。質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個(gè)氣體流量調(diào)節(jié)閥門(mén)，閥門(mén)能使通過(guò)控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測(cè)量的滿(mǎn)量程，在工作的過(guò)程當(dāng)中，控制器的入口和出口之間會(huì)產(chǎn)生一個(gè)氣壓降，即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1～0.3MPa，若壓差低于值(0.1MPa)，有可能控制達(dá)不到滿(mǎn)量程值;若高于值(0.3MPa)，有可能關(guān)閉時(shí)流量不能小于2%F.S。
溫州流量計(jì)檢查出現(xiàn)偏差方法的原因及方法：
1.零點(diǎn)是否有漂移，先接通電源，質(zhì)量流量控制器信號(hào)為0的情況下，則需要用萬(wàn)網(wǎng)表測(cè)一下輸出信號(hào)值以及看一下電源控制器的反饋信號(hào)；
2.氣體是否純凈，如果盤(pán)路有污染，那么流量就肯定會(huì)收到影響，這個(gè)時(shí)候可以用高純N2多次清掃，如果還是不能解決則需要找專(zhuān)業(yè)維修中心接受A/S；
3.質(zhì)量流量控制器前端壓力是否發(fā)到標(biāo)定壓力，如果質(zhì)量流量控制器的壓力不夠就會(huì)出現(xiàn)達(dá)不到標(biāo)定量程。
溫州流量計(jì)是怎么讀數(shù)的?
流體自下而上流經(jīng)錐管時(shí)，流體動(dòng)能在浮子上產(chǎn)生的升力S和流體的浮力A使浮子上升，當(dāng)升力S與浮力A之和等于浮子自身重力G時(shí)，浮子處于平衡，穩(wěn)定在某一高度位置上，錐管上的刻度指示流體的流量值。 轉(zhuǎn)子流量計(jì)，都有刻度。GPM=加侖每分鐘LPM=升每分鐘 眼睛齊平 轉(zhuǎn)子的上端平面讀刻度,從0刻度方向開(kāi)始。在轉(zhuǎn)子流量計(jì)上讀出的數(shù)據(jù)為瞬時(shí)流量，要么是體積流量，要么為質(zhì)量流量。如為質(zhì)量流量，你先換算為體積流量(單位m3/s)，然后再根據(jù)轉(zhuǎn)子流量計(jì)的口徑用體積流量除以截面積就可以估算出來(lái)(注意：這里是估算，因?yàn)榻孛娣e不是線(xiàn)性的)
